新聞公告
阿爾卡特乾式幫浦： ADP/ADS系列2
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阿爾卡特通過ADP/ADS 系列2改良了乾式幫浦的使用多段魯式技術。
這種新類型的幫浦是結合了3種製程的幫浦，具有高工作溫度並且能夠鎖定從112到1150 m/h的負荷壓力。 這種類型的幫浦還具有以下優點：改良的性能，低成本，更小的佔地面積和體積，簡易的維護操作，高可靠性，並且精確控溫系統能保證更好的製程適應性。新的性能包括手工遠程控制的監控性能的提高，氮流量傳感器，實時清潔功能，斷電保護，完全遵循Semi S2-93標準。 阿爾卡特系列2乾式幫浦為所有鎖定負荷，蝕刻和CVD等製程提供了最終的解決方案。 |
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