新聞公告
綜合考慮用戶觀點，全面革新的阿爾卡特幫浦能夠大幅節約成本，節約能源
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法國阿爾卡特真空技術部進行全面革新，推出了新型的乾式幫浦，IPUP A100 ，設計可以整合入半導體工具中，成本低廉，可以為用戶節約時間和能源。
阿爾卡特真空技術部bertrand Seigeot說明，由阿爾卡特推出的適用於300mm半導體產業的這種具有革命意義的乾式幫浦，IPUP A100相比於同樣抽氣速度的常規乾式幫浦縮小了75％的體積，可以節約50％的能量，完全兼容於無塵室操作，可以代替遠程幫浦並達到500m3/h。 他還指出，IPUP A100的新型設計可以使用戶節約成本，能量並增加設備工作時間。把幫浦置於靠近製程的地方還可以節約能量，可以均勻的提高溫度，減少副產品沉積以及電導率損失，並且可以實時變換速度而減少用電量。 整合入工具中的幫浦可以使最終用戶省去真空管線，大幅節約成本，同時節約能源，佔地空間，以及減少在前級真空管道的副產品沉積，增加生產時間和產量。 M.Seigeot補充說，其另外一個顯而易見的優點就是節約時間，因為這種幫浦可以不必進行工具對工具或廠對廠的安裝，可以使你減少負荷鎖定所需要的排空時間。 IPUP A100低振動，低噪音，遵循高安全標準，完全適用於無污染環境。目前有兩種型號：IPUP A100L,無需淨化氣體，適用於無污染環境；IPUP A100P適用於所有需要完全監控和可高達130度的精確溫度控制的製程應用場合。 新型的IPUP A100結合了應用材料的技術開發，具有以下創新： * 通過把幫浦放置在靠近製程的地方，通過實時模式控制可變速度以及低平均旋轉速度可以大幅節約能量 * 良好的溫度同一性並能減少副產品沉積 * 可以快速安裝啟動 * 良好的工具對工具的製程重複性 * 低振動和低噪音 * 佔地面積小 如果想得到更多的關於此產品的信息，請參閱真空系統/產品介紹部分，您會在此產品的介紹中找到pdf文檔。 |
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