阿爾卡特ATH 2300M簡介：小型全磁浮渦輪幫浦
阿爾卡特不斷擴大其業務範圍，為半導體蝕刻製程開發了全磁浮渦輪幫浦，ATH 2300M，其體積很小，但是卻具有每秒2000升的抽氣速度。
阿爾卡特ATH 2300M能夠達到2000 sccm的氬抽氣量，可以滿足0.12微米的最高蝕刻製程要求。
阿爾卡特在ATH 2300M, ATH 1600M, ATH 1300M 和 ATH 400M中使用了消塵技術。這些產品具有極高的可靠性，能提供高吞吐量，高壓並能高速抽氣腐蝕性氣體。這些特點使其迅速成為全世界工廠渦輪幫浦的首選。
這些幫浦的以下特點代表了當今的技術發展水平：
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5 活動軸 ，可保證最高的可靠性，這是經實踐檢驗的磁性軸承技術。
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自動平衡系統，可以進行任何方位非平衡補償。
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嵌入式加熱設備，可以加熱到75℃以防止副產品凝結沉積。
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惰性氣體消塵技術可以消塵
阿爾卡特全磁浮渦輪幫浦
無維護費,無需電池（無需為金屬，絕緣體和聚乙烯蝕刻，離子注入，濺蝕和等離子沉積提供電池）。
