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製程腔體壓力控制：蝕刻與沉積的新概念
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新聞公告
製程腔體壓力控制：蝕刻與沉積的新概念
阿爾卡特在「真空技術應用」的固態技術上發表此文。
我們介紹了一種在晶片加工過程中控制製程腔體壓力的新方法。
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