ATPS 阿爾卡特新型即插即用工具抽氣系統，可以大幅削減佔地面積
阿爾卡特真空技術部最新優化的幫浦安裝方法能夠削減抽氣系統佔地面積達70％。
新型阿爾卡特工具抽氣系統（ATPS）主要用於使用大量工具的場合，能夠減少一套工具抽氣系統30－70％的必要佔地面積，使擁擠的廠房大幅增加了有效面積。
ATPS在幫浦安裝方面真正達到了最有化，能夠使用100或600m3/h的抽氣管線。當必要時，內嵌的A100微型乾式幫浦能夠由魯式幫浦驅動達到600m3/h。
除了節省空間，用戶還可以享受到基於乾式幫浦技術的ATPS的其它諸多優點，其中包括入口標準連接件（1.9m 高度），完全獨立的抽氣管線可以保證當一個幫浦停止工作時，其它幫浦仍可以正常工作，而且便於維護。系統設計合理，例如可以使用阿爾卡特升降車能夠在不到10分鐘的時間裡更換幫浦。
阿爾卡特新型乾式幫浦ATPS有3種型號：
- ATPS 61，可以在1m x 1m的佔地面積內使用高達3個抽氣管線（最多可配置3個輔助管線）
- ATPS 81，可以在1m x 1m的佔地面積內使用高達6個抽氣管線（最多可配置2個輔助管線）
- ATPS 101，可以在1.5m x 1m的佔地面積內使用高達6個抽氣管線（最多可配置4個輔助管線）
需要指出，阿爾卡特乾式幫浦技術有義務為最終用戶提供最大的實惠，這項技術涵蓋了很大範圍的應用場合，包括PVD, 蝕刻, WCVD, Ti/TiN CVD，不摻二氧化硅的CVD (HDPCVD,RTP-CVD)。在金屬與聚乙烯蝕刻場合下，不管具有任何形式的入口隔離閥，所有的真空管線都要同時加熱。
阿爾卡特以創新的即插即用系統為豪，使用戶群大增。例如，簡化的排序製程（每一製程對應一個工具）本質上避免了忘記安裝幫浦或附件的危險，尤其是在集中精力於部件簡易性，要求快速連接（僅需一天工作日）的場合下。除了可以減少噪音，此產品還裝有一個排氣隔離間，可以增加安全性。
ATPS是在阿爾卡特新型的，具有革命意義的IPUP A100乾式幫浦的基礎上，聯合應用材料共同為用戶開發的產品。設計可以整合入半導體工具中。阿爾卡特IPUP A100價格低廉，可以為用戶節省大量的時間和能源。
