ATH 1600M簡介：一種微型全磁浮渦輪幫浦
阿爾卡特不斷擴大其業務範圍，為半導體蝕刻製程開發了全磁浮渦輪幫浦，ATH 1600M。
阿爾卡特的ATH 1600M 產品能夠持續地以4 mTorr的入口壓力抽氣氣體而達到450 sccm的吞吐量，這是為滿足0.18微米蝕刻製程的最高要求而設計的。
阿爾卡特在ATH 1600M, ATH 1300M 和 ATH 400M中使用了消塵技術。這些產品具有極高的可靠性，能提供高吞吐量，高壓並能高速抽出腐蝕性氣體。
這些幫浦的下列技術代表了當今技術的發展水平：
* 5個活動軸可保證最高的可靠性，這是經實踐檢驗的磁性軸承技術。
* 自動平衡系統可以進行任何方位非平衡補償。
* 嵌入式加熱設備可以加熱到75℃以防止副產品沉積
* 惰性氣體的清潔
阿爾卡特磁懸浮渦輪幫浦無維護費，也無需為金屬，絕緣體和介質蝕刻，離子注入，濺蝕和等離子沉積提供電池。
